Công nghiệp sản xuất chất bán dẫn Khí là một phần quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, vì chúng có thể tạo ra các phản ứng hóa học cần thiết để hình thành các đặc tính điện của chất bán dẫn.Với sự phát triển không ngừng của ngành công nghiệp bán dẫn, các khí lõi nitơ, oxy, argon và hydro được sử dụng